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연구장비현황
장비기본정보
이용여부 이용가능
기자재명 3D 표면 미세형상레이저 측정기 (3D surface micro laser detectors)
규격
모델명 / 제작사 OLS-3100 / OLYMPUS
취득금액 127,243,000 원
장비사용료 50000원 /1hr
취득일자 2009-12-18
장비상세내용
장비세부사항

● Z-axis 분해능 : Min. display 1nm

● 분해능 범위 : 14,400X / 0.12 um line and space 분해가능

● 2D/ 3D 측정, 조도 측정, 단차 측정 등

● 0.2초 프레임 이미지 획득

 

장비사진
장비사진
관리자정보
관리부서(사업단) 클러스터사업단
관리자
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