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특허명 FePt 자성박막의 제조방법
출원번호 10 - 2008 - 0018273
출원일자 2008-02-28
대표발명자 이찬규
발명자소속 창원대학교
기술개요 및 특징
본 발명은 FePt 자성박막의 제조방법을 제공하기 위한 것으로, 전해증착법을 이용하여 FePt 박막을 증착시키는
전해증착 단계와; 상기 전해증착 단계 후 열처리를 수행하여 규칙화된 상을 갖는 FePt 자성박막을 제조하는 열처
리 단계;를 포함하여 구성함으로서, 전기화학적 방법인 전해증착법을 이용하고, 박막증착 후 열처리를 통하여 규
칙화된 상을 얻어 수직자기 이방성을 가지는 L10 구조의 FePt 자성박막을 제조할 수 있게 되는 것이다
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