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특허명 전해증착법을 이용한 코발트계 합금박막 제조방법
출원번호 10 - 2009 - 0007136
출원일자 2009-01-29
대표발명자 이찬규
발명자소속 창원대학교
기술개요 및 특징
본 발명은 전해증착법을 이용하여 다양한 자기적 특성을 가지는 Co계 합금박막을 제조하기 위한 것으로, 보다 상
세하게는 전해증착법에 의해 Co계 합금박막을 증착하고 공정 중 변수인 전류밀도를 조절함으로써 각 분야에 적합
한 다양한 특성을 갖는 Co계 합금박막을 제조하는 것이 특징인 전해증착법을 이용한 Co계 합금박막 제조방법에
관한 것이다.
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