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특허명 [2020]나노-마이크로 복합 패턴 및 이의 제조방법
출원번호 10 - 2082136 -
출원일자 2020-02-21
대표발명자 조영태
발명자소속 기계공학부
기술개요 및 특징
본 발명은 복수개의 마이크로 패턴; 및 상기 각각의 마이크로 패턴을 구성하는 복수개의 나노패턴을 포함하며, 상기 복수개의 나노패턴은 각각 상부영역은 밀집되어 있고, 하부영역은 일정 간격 이격되어 위치하는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴 및 이의 제조방법에 관한 것으로, 간단하고, 저가의 공정으로 마이크로-나노 복합 패턴을 제조하는 방법을 제공할 수 있다.
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