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특허명 회주철에 대한 이온질화 처리방법
출원번호 10 - 2007 - 0013811
출원일자 2007-02-09
대표발명자 윤재홍
발명자소속 창원대학교
기술개요 및 특징
본 발명은 FC-25계열의 회주철표면을 이온질화방법으로 개질하는 것에 관한 것으로 회주철의 표면을 연마하고 유
기물을 제거하는 단계와, 반응로의 압력을 3.0torr로 진공처리하는 단계와, 아르곤과 수소를 체적비 1:2로 혼합
하여 공급하는 단계와, 노내의 온도를 550℃로 유지하면서 DC플라즈마를 발생시켜 1시간 동안 프리-스퍼터링하는
단계와, 프리-스퍼터링이 끝난 후 노내의 압력을 3.0torr로 진공처리하는 단계와, 질소와 수소를 체적비 3:1로
혼합하여 공급하는 단계와, 노내의 온도를 595℃로 승온하여 14시간 동안 질화처리하는 단계와, 질화처리 후 질
소분위기에서 1시간 노냉하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
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