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특허명 패턴 정렬 시 오차 측정 방법
출원번호 10 - 2440860 -
출원일자 2022-09-01
대표발명자 조영태
발명자소속 기계공학부 스마트제조융합전공
기술개요 및 특징
본 발명은 패턴 정렬 시 오차 측정 방법에 관한 것으로서, 주기적인 패턴을 갖는 이미지를 획득하는 단계; 상기 이미지의 고속 푸리에 변환을 수행하여 푸리에 변환 이미지를 획득하는 단계; 상기 푸리에 변환 이미지의 중심점을 기준으로 선형을 이루는 푸리에 변환 스펙트럼의 주파수 성분을 파악하는 단계; 상기 주파수 성분과 중심점을 이용하여 선형 방정식을 도출하는 단계; 및 상기 푸리에 변환 이미지의 x축과 상기 선형 방정식의 직선이 이루는 회전각(θ)을 측정하는 단계;를 포함한다.
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